金刚石以其优异的性能在高端制造业如精密工具、、耐磨零件、、、光学元件涂层、、、电子产品配件加工等领域有广泛应用。。。。此外金刚石不光是“工业牙齿”,,,,还是“终极半导体”。。人造金刚石的性能已与天然金刚石的性能接近,,通过CVD法制造的金刚石膜主要有以下四种应用:
1、、工具和摩擦磨损应用:目前的工具级金刚石膜产品,,,基本上限于修整条和拉丝模芯,,替代天然金刚石,,,,且受到PCD的竞争,,因此市场规模不会很大。。。精密切削刀具曾被认为是一个很好的市场方向,,,但却面临在高端的天然和合成金刚石单晶刀具和位于低端的PCD刀具的夹击,,,,且由于多晶金刚石膜的柱状晶特征,,,,只适合于制作中低端的刀具,,,在产品定位和性价比上很难发挥优势。。。。金刚石薄膜涂层工具由于应用面广,,,制备成本低,,还有很大的发展余地。。但目前国内市场还仅限于大尺寸深孔硬质合金拉丝模。。金刚石膜涂层硬质合金金属切削刀具仍然没有大批量面市。。。
2、、、、热学应用:金刚石膜的热导率在所有已知材料中最高,,,,是铜、、、银的5倍,,又是良好的绝缘体,,因而是大功率激光器件、、、微波器件、、、、高集成电子器件的理想散热材料采用金刚石热沉(散热片)的大功率半导体激光器已经用于光通信,,,,在激光二极管、、、、功率晶体管、、、电子封装材料等方面都有应用。。。未来,,,潜在市场规模很大,,随着新能源汽车、、、新能源光伏、、、激光器、、军工武器等领域的应用不断扩展,,,,金刚石热沉片将迎来市场爆发期。。。。
3、、电子学应用:由于大面积金刚石膜异质外延一直未能取得突破,,以及在n-型掺杂方面的困难,,金刚石高温半导体已不再是当前高温半导体研究的主流。。。虽然SiC的半导体性能远比不上金刚石,,,,但大尺寸SiC单晶却比金刚石更容易生长,,且和现有的硅半导体技术具有更好的兼容性。。。。因此当前国内外SiC是研究的主流,,,,而不是金刚石是一个合理的选择。。。
4、、、、光学应用:在极端应用环境下,,,,CVD金刚石膜具有明显的优势,,,,个别情况下可能是唯一的选择。。。问题在于实际的应用对于金刚石自支撑膜的质量(要求光学极),,,,尺寸和厚度,,,形状(比如球罩),,,,以及应用环境都十分苛刻。。技术难度非常人可以想象。。。在过去10年中,,,由于现有材料如蓝宝石(3-5μm中波红外窗口材料)和ZnS (8-12μm长波红外窗口材料)基本上能够满足应用要求,,因此没有把光学级金刚石膜的工程应用放到议事日程。。。进入“十二五”以后,,才发现针对未来技术的发展,,,金刚石膜在某些重要应用领域成了几乎唯一的选择。。。。但由于长期以来没有足够的资金支持,,,,现在想要在短期内实现光学级金刚石膜的工程应用,,,,谈何容易。。。无论如何,,这为CVD金刚石膜研究注入了新的活力。。但从产业化的角度来看,,,市场规模不会很大。。
综上金刚石可分为四类,,包括:电子级、、、光学级、、、工具级和热沉级。。。。电子级主要用于量子通讯、、、超级计算机等,,,光学级用于光学窗口,,,工具级主要用于刀具表面涂层,,,而热沉级主要作为高功率器件的散热材料。。
金刚石是一种性能优异的宽禁带半导体材料,,,它是继硅(Si)、、、砷化镓(GaAs)、、、、磷化铟(InP)、、氮化镓(GaN)等之后的重要半导体材料之一,,金刚石热沉片可用于重要的半导体器件,,,在生物检测和医疗、、平板显示、、环保工程、、功能器件等多个高新技术领域都有巨大的应用潜力。。。其优异的性能可归纳如下:
(1)极高的介质击穿特性:击穿电场为107V/cm,,,是GaAs材料的50倍,,,GaN材料的2倍,,,,SiC材料的2.5倍。。
(2)极高的功率容量:金刚石容许的功率使用容量是Si材料的2500倍以上;特别适合制作大功率电子器件。。。
(3)极高的热传导:室温下金刚石具有最高的热导率,,,是铜的5倍。。。。
(4)低的介电常数:金刚石的介电常数为5.7,,约为GaAs的1/2,,,,比InP的一半还小,,也就是说,,,在给定的频率下,,金刚石半导体具有可竞争性的容性负载,,,这为毫米波器件的设计提供了极大的方便。。
(5)高饱和载流子速度:金刚石的饱和载流子速度是GaAs、、、Si或InP的12.7倍,,而且载流子速度比GaAs的峰值还要大,,,,即在电场强度增加时也可维持其高的速率。。
(6)高载流子迁移率:无论是电子迁移率还是空穴迁移率都优于其他半导体材料,,,金刚石电子迁移率为4500cm2/(V·s),,而Si为1600cm2/(V·s),,GaAs为800cm2/(V·s),,GaN为600cm2/(V·s);金刚石的空穴迁移率为3800cm2/(V·s),,,而Si为600cm2/(V·s),,GaAs为300cm2/(V·s),,,GaN小于50cm2/(V·s),,,,因而,,,,金刚石可以制作高频电子器件。。。
(7)极高的品质因数:通常,,品质因数由饱和载流子速度和介电强度确定。。。。如以Si的品质因数为1作为基准,,那么GaAs的品质因数为7,,,InP的品质因数为16,,SiC的品质因数为1138,,金刚石的品质因数为8206。。。当其品质因数用于判断逻辑电路的潜力时,,,,介电常数、、、饱和载流子速度和热导率是判据,,,如Si的判据为1,,,,则GaAs为0.456,,,SiC为5.8,,,金刚石为32.2,,,因此,,,在理论上,,,,金刚石最适合于集成电路使用。。。
(8)优良的光学特性:金刚石不仅具有优异的电学特性,,,,而且有优良的光学特性。。金刚石除在紫外和红外的某些波段存在本征吸收外,,在整个光谱波段(紫外、、、、可见光、、、、红外)均透明,,,并有不寻常的高折射率,,因此,,,,金刚石是最理想的光学窗口材料。。。。
(9)极高的硬度和极高的化学稳定性:金刚石不仅具有结构致密、、、耐磨、、低摩擦因数和极高的硬度,,,,而且在大多数环境下都是绝对稳定,,耐化学腐蚀的。。。。