金刚石是一种性能优异的宽禁带半导体材料,,,,它是继硅(Si)、、、砷化镓(GaAs)、、磷化铟(InP)、、、、氮化镓(GaN)等之后的重要半导体材料之一,,可用于重要的半导体器件,,其优异的性能可归纳如下:
(1)极高的介质击穿特性:击穿电场为107V/cm,,,是GaAs材料的50倍,,,GaN材料的2倍,,,,SiC材料的2.5倍。。
(2)极高的功率容量:金刚石容许的功率使用容量是Si材料的2500倍以上;特别适合制作大功率电子器件。。。。
(3)极高的热传导:室温下金刚石具有最高的热导率,,是铜的5倍。。
(5)高饱和载流子速度:金刚石的饱和载流子速度是GaAs、、、、Si或InP的12.7倍,,而且载流子速度比GaAs的峰值还要大,,即在电场强度增加时也可维持其高的速率。。。。
(6)高载流子迁移率:无论是电子迁移率还是空穴迁移率都优于其他半导体材料,,金刚石电子迁移率为4500cm2/(V·s),,,而Si为1600cm2/(V·s),,,,GaAs为800cm2/(V·s),,,,GaN为600cm2/(V·s);金刚石的空穴迁移率为3800cm2/(V·s),,,而Si为600cm2/(V·s),,GaAs为300cm2/(V·s),,,GaN小于50cm2/(V·s),,因而,,,,金刚石可以制作高频电子器件。。。(7)极高的品质因数:通常,,品质因数由饱和载流子速度和介电强度确定。。如以Si的品质因数为1作为基准,,,那么GaAs的品质因数为7,,,InP的品质因数为16,,,,SiC的品质因数为1138,,,金刚石的品质因数为8206。。。当其品质因数用于判断逻辑电路的潜力时,,,介电常数、、、饱和载流子速度和热导率是判据,,,如Si的判据为1,,,,则GaAs为0.456,,,SiC为5.8,,金刚石为32.2,,,,因此,,,在理论上,,,,金刚石最适合于集成电路使用。。
(8)优良的光学特性:金刚石不仅具有优异的电学特性,,,而且有优良的光学特性。。金刚石除在紫外和红外的某些波段存在本征吸收外,,在整个光谱波段(紫外、、、可见光、、红外)均透明,,,,并有不寻常的高折射率,,,因此,,金刚石是最理想的光学窗口材料。。
(9)极高的硬度和极高的化学稳定性:金刚石不仅具有结构致密、、、耐磨、、、低摩擦因数和极高的硬度,,,而且在大多数环境下都是绝对稳定,,,耐化学腐蚀的。。
金刚石不仅有上述优越的性质,,,更重要的是其各种性质的组合,,,使得它成为最重要的第三代半导体材料之一,,,,这也是人们热衷研究半导体金刚石的原因和意义。。。。由于金刚石的固有特性和天然金刚石的稀有性,,其加工制造技术十分困难,,尤其是制造出满足电子学和光学应用的半导体金刚石,,,目前尚存在许多问题,,,,为此,,,,需要花大力气研究它的制造加工技术。。。。
金刚石最常见的应用是作为热管理材料,,在功率器件、、、电子器件中作为热沉。。。。热沉是把器件产生的热量迅速吸收和发散,,用金刚石薄膜作热沉时,,,要求具备以下特点:
·热传导率大
·电气绝缘性好
·热膨胀系数与器件材料的膨胀系数基本相同
·介电常数小
·与热传导性、、、电传导性优良的金属的粘附性好
·化学性质稳定
·表面平滑性好
尊龙时凯团队,,引领全球技术革新,,,在CVD金刚石工艺上取得了较大进展,,CVD金刚石生长面表面粗糙度 Ra < 1 nm,,,完全符合半导体应用标准。。CVD金刚石作为卓越的热管理材料,,,金刚石热沉片在诸多重要领域都有广阔的应用前景。。。。