半导体激光器又称激光二极管,,是用半导体材料作为工作物质的激光器。。。具有体积小、、、、寿命长,,,电光转化效率高、、稳定性好等优点,,,,被广泛应用于工业加工、、、激光通信、、、激光照明、、、、激光陀螺、、激光打标、、、激光医疗、、科学研究、、测距以及雷达等方面,,很多应用对半导体激光器要求具有输出功率高、、、、可靠性高、、使用寿命长的特点。。。
半导体激光器在生产制程中需要对激光芯片进行封装,,,目前激光芯片封装成组件激光芯片单管COS(Chip On Submount),激光芯片焊接到过渡热沉,,,,再焊接到热沉上做成模块应用。。。。激光芯片单管焊接到过渡热沉上封装技术,,,,为维持激光器的长期稳定,,,需要提供良好的散热条件,,其中热沉的热膨胀系数与芯片(热膨胀系数 6.4×10-6/K)的匹配程度直接影响材料间的应力释放,,,,对过渡热沉的散热能力提出一定要求,,对热沉材料的热应力释放能力有一定要求。。。
半导体激光器工作时会产生大量的热,,,,若热量不能及时散出去会影响激光器的各项性能,,如发生波长发生红移、、、阈值电流增大、、斜率效率降低、、、功率减小等,,,,严重时甚至导致激光器失效,,,散热封装技术是保障激光器稳定工作的关键。。基于热沉传导冷却散热方方式不仅能够有效提升激光器的散热能力,,而且能够有效提高激光器的工作可靠性。。。热沉冷却散热封装一般分为零级热沉和热沉两部分,,,,芯片工作时有源区产生的热量首先通过零级热沉向外传导,,,再由热沉作为散热终端将热量全部传导到冷却媒介中。。热沉一般指无氧铜或者其他高导材料。。。。零级热沉又称过渡热沉,,,,过渡热沉直接与激光芯片和热沉相连,,,,过渡热沉材料的热膨胀系数、、热导率等特性参数对激光器散热能力起至关作用。。
二、、、、封装热沉
市场上常见的热沉材料有氮化铝(ALN),,钨铜(WCu),,,碳化硅(SiC),,,氧化铍(BeO),,,金刚石(diamond)等,,,他们有一些独特特性,,根据实际需求分别被应用到不同的领域。。。
1、、、、氮化铝(ALN)
氮化铝热沉
基片材料:氮化铝
密度(kg·10-3):3300
热导率(W/(m·K)):>(170-230)
粗糙度(um):<0.3
弹性模量(GPa):270
泊松比:0.260
热膨胀系数(×10-6/K):4.6
基片厚度(mm):0.15-1.5
2、、、钨铜(WCu)
钨铜合金热沉
基片材料:钨铜合金
密度(kg·10-3):16750
热导率(W/(m·K)):>(180-340)
粗糙度(um):<0.3
弹性模量(GPa):315
泊松比:0.300
热膨胀系数(×10-6/K):>6.5
基片厚度(mm):>0.15
3、、碳化硅(SiC)
碳化硅热沉
基片材料:碳化硅
密度(kg·10-3):3200
热导率(W/(m·K)):>300
粗糙度(um):<0.3
弹性模量(GPa):221
泊松比:0.210
热膨胀系数(×10-6/K):4.5
基片厚度(mm):0.15-1.5
4、、氧化铍(BeO)
氧化铍热沉
基片材料:氧化铍
密度(kg·10-3):3100
热导率(W/(m·K)):>250
粗糙度(um):<0.3
弹性模量(GPa):315
泊松比:0.260
热膨胀系数(×10-6/K):6.8
基片厚度(mm):0.15-1.5
5、、、、金刚石(diamond)
金刚石基板
基片材料:金刚石
密度(kg·10-3):3520
热导率(W/(m·K)):1000-2000
粗糙度(nm):<30
弹性模量(GPa):1000
泊松比:0.070
热膨胀系数(×10-6/K):1.3
基片厚度(mm):0.15-3
综合来看,,金刚石热沉片作为高功率半导体激光器的过渡热沉有诸多优点,,其优点如下:
(1)高热导率:在散热方面,,,热沉的热导率是最重要的因素。。高功率半导体激光器工作时产生的废热需要及时散掉,,,否则,,会造成波长红移,,,影响激光器寿命和稳定性。。。。人造金刚石热导率最高可达2000W/(m·K),,,是常用铜热沉的5倍左右。。金刚石膜优越的热导率大大提高了激光器的散热效果。。。。
(2)热膨胀系数匹配:金刚石膜的热膨胀系数可变,,温度300K时为1x10-6/K500K时为27x10-6/K,,,1000K时为4.4x10-6/K,,,,与GaAs材料匹配(4.5x106/K),,能够很好的消除热应力,,减小激光器芯片变形。。。。
(3)电绝缘性高:金刚石膜的电阻率非常高,,达到103Ω·cm,,绝缘性越好。。
(4)介电常数小:与其他热沉材料相比(Si的介电常数118,,,AIN的介电常数为8.5),,,金刚石膜的介电常数最小为5.5,,,有利于器件的运作,,,,信号的传输。。。
金刚石热沉片作为激光器芯片封装热沉,,,,表面可金属化,,,,预置焊料,,,,如金锡焊料AuSn,,方便激光芯片焊接使用。。。。为高功率激光芯片提供高效、、、、持续性的散热能力。。